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消解器直销厂家浅谈等离子体清洗机在集成电路制造中的应用

发布日期:2021-11-04 11:01:42 作者:SystemMaster 点击:22

消解器直销厂家浅谈等离子体清洗机在集成电路制造中的应用
本发明是一种绿色、无污染、高精密干法清洗方式,可有效去除表面污染物,避免静电破坏。IC制造过程中会产生多种污染物,包括氟化树脂、氧化物、环氧树脂、焊料、光刻蚀剂等,这些污染物都会对集成电路及元件的可靠性、通过率造成严重影响。离子清洗法是一种能够有效去除表面污染物的工艺技术,在集成电路制造过程中得到了广泛的应用。
等离子体是物质的一种存在状态,物质通常以固体、液体、气体三种状态存在,但是在某些特殊情况下也有第四中位态,例如地球大气中电离层中的物质。电浆状态中有以下几种物质:高速运动的电子;一种中性原子,一个分子,一个原子团(自由基);一个离子化的原子、分子;一个未反应的分子、原子等等,但是物质总体上仍然是电中性。
电浆清洗机在金属除油和清洗中的应用:
在进行溅射、喷漆、粘合、焊接、铜焊、PVD、PVD、CVD之前,金属表面往往会有诸如油脂、油污等有机物及氧化层等有机物和氧化层。焊前:印刷线路板一般采用化学助焊剂后再进行焊接。这些化学物质在焊接结束后需要用等离子的方法除去,否则会产生腐蚀等问题。
焊前:良好的焊接处经常会因电镀、粘结、焊接操作中的残留而减弱,这些残留物可以通过等离子方法选择性地去除。与此同时氧化层对粘结质量也有危害,还需进行等离子清洗。
电浆清洗机无需使用大量酸、碱、有机溶剂等,不会对环境造成任何污染,有利于环保和人员安全,同时清洗技术的均匀性、重复性、可控性好,具有三维处理能力,可进行方向选择。无正、负极,自偏压极小,无放电污染,有效防止静电破坏;等离子密度高,生产效率高;离子运动冲击小,不会产生UV(紫外线)辐射,特别适合某些敏感电路的工艺过程清洗。

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