消解器直销厂家浅谈等离子体清洗机在集成电路制造中的应用

消解器直销厂家浅谈等离子体清洗机在集成电路制造中的应用
本发明是一种绿色、无污染、高精密干法清洗方式，可有效去除表面污染物，避免静电破坏。IC制造过程中会产生多种污染物，包括氟化树脂、氧化物、环氧树脂、焊料、光刻蚀剂等，这些污染物都会对集成电路及元件的可靠性、通过率造成严重影响。离子清洗法是一种能够有效去除表面污染物的工艺技术，在集成电路制造过程中得到了广泛的应用。
等离子体是物质的一种存在状态，物质通常以固体、液体、气体三种状态存在，但是在某些特殊情况下也有第四中位态，例如地球大气中电离层中的物质。电浆状态中有以下几种物质：高速运动的电子；一种中性原子，一个分子，一个原子团(自由基)；一个离子化的原子、分子；一个未反应的分子、原子等等，但是物质总体上仍然是电中性。
电浆清洗机在金属除油和清洗中的应用：
在进行溅射、喷漆、粘合、焊接、铜焊、PVD、PVD、CVD之前，金属表面往往会有诸如油脂、油污等有机物及氧化层等有机物和氧化层。焊前：印刷线路板一般采用化学助焊剂后再进行焊接。这些化学物质在焊接结束后需要用等离子的方法除去，否则会产生腐蚀等问题。
焊前：良好的焊接处经常会因电镀、粘结、焊接操作中的残留而减弱，这些残留物可以通过等离子方法选择性地去除。与此同时氧化层对粘结质量也有危害，还需进行等离子清洗。
电浆清洗机无需使用大量酸、碱、有机溶剂等，不会对环境造成任何污染，有利于环保和人员安全，同时清洗技术的均匀性、重复性、可控性好，具有三维处理能力，可进行方向选择。无正、负极，自偏压极小，无放电污染，有效防止静电破坏；等离子密度高，生产效率高；离子运动冲击小，不会产生UV(紫外线)辐射，特别适合某些敏感电路的工艺过程清洗。